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表面分析ガイド
様々な表面分析手法を用いて、異物、変色、汚染などのお困りごとの解決に向けてお役立ていたします。
EDX（EDS）（エネルギー分散型X線分析）
電子線を照射し特性X線を検出します。微小領域からバルク試料まで幅広い分析が可能です。
特徴
- 微小領域の元素分析
- バルク試料の分析
- SEMとの併用が可能
- 元素マッピング
適用例
- 微小異物分析
- マイグレーション観察
PP（アクリル添加品）の元素マッピング
AES（オージェ電子分光分析）
電子線を照射しオージェ電子を検出します。酸化状態など金属表面の分析に有効です。
特徴
- 最表面(約5nm)の分析
- 深さ方向分析
- 微小領域の元素分析
適用例
- パッドの変色分析
- 酸化膜厚測定
- ボンディング不良解析
ボンディング不良パッドの深さ方向分析
XPS（ESCA）（X線光電子分光分析）
X線を照射し光電子を検出します。絶縁物の分析や化学結合状態の分析が可能です。
特徴
- 最表面(約5nm)の分析
- 深さ方向分析
- 結合状態の比較評価
- 絶縁物の分析
適用例
- 基板表面の汚染分析
- 表面酸化の評価
元素分析結果
炭素の状態分析結果
TFAによるPVAの化学修飾 （定性分析、状態分析）
TOF－SIMS（飛行時間型二次イオン質量分析）
一次イオンを照射し二次イオンを検出します。表面汚染などの有機物・無機物分析に有効です。
特徴
- 最表面(1~2nm)の分析
- 微量元素の検出(数ppm)
- 有機物・無機物のイメージング
- 元素の深さ方向分析
適用例
- 有機物・無機物汚染の分析
- 膜はじき異物の分析
Si ウエハの残渣分析（有機物・無機物のイメージング）
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株式会社アイテス 品質技術部
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