FIB（集束イオンビーム装置）を使用したTEM試料作製

リフトアウト法

特徴

・通常の手法と比べ短時間（約１/２）で試料作製が可能
・近接する個所でも試料作製可能
・試料の前処理に水を使わない（ダイシングソー、機械研磨不要）

リフトアウト法を用いた試料作成の概要

ＦＩＢでＴＥＭ観察個所を薄片化した後
ガラスプローブで静電吸着して取り出す

マイクロマニュピレーター外観図

薄片化試料をガラスプローブで
取り出したところ

tem4 — 薄片化試料を支持膜付きのメッシュ
グリッドに固定する

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