マイクロプローバー、マニピュレータによる電気的特性の測定

微細配線、極小パッドへの高精度なプローブが必要となる液晶ディスプレイのTFT測定や半導体デバイスの電気的特性の受託測定が可能です。

マイクロプローバー外観

マイクロプローバー１

マイクロプローバー２

測定器各種(半導体パラメータアナライザー、カーブトレーサー)

半導体パラメータアナライザー写真

半導体パラメータアナライザー写真

カーブトレーサー写真

素子特性測定例

マイクロPADの加工例

マイクロPADを用いたNMOS Vth測定結果

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