断面観察用の試料作製

【機械的加工】
・機械研磨
・ミクロトーム

【イオンビーム加工】
・FIB 
・ｲｵﾝﾎﾟﾘｯｼｬｰ(CP) 

：最も一般的で耐水研磨紙等で研磨する方法。
：ダイヤモンドナイフによる切削加工による方法。 

：Gaイオンを照射し微小領域を加工する方法。
：Arイオンを照射し広範囲を加工する方法。　

（主な観察用途）
（OM、LM、SEM）
（OM、LM、SEM、TEM）

（SEM、SIM、TEM）
（OM、LM、SEM）