EPMAによる微量元素の検出

エネルギー分解能や検出感度が良く、特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています。

パッケージ内のAu-1stボンディグで不良が発生していました。
腐食原因物質の特定と分布状況を確認するため、EDX分析とEPMA分析を実施しました。